VaporSorb是化學濾網的領化學濾網導品牌，用於半導體制造關鍵步驟的無塵室環境和制程生產機台。VaporSorb 化學濾網的設計已能以單一過濾器捕捉空氣有機物、堿和強  酸。新型VaporSorb TRK 已添加特殊材質，使其成為第一個不僅能捕捉前三種核心污染物類別，還能捕捉第四類別的化無塵室設備學濾網，也就是定義為弱酸的類別。  針對光微影塗布/曝光機追蹤設計的新型化學濾網，首創「四合一」化學濾網空調規劃設計解決方案建立在過去的「三合一」技術上，避免了多重化學濾網的處理。此外，本化學濾  網能保持 Vapor不織布濾網Sorb 領先業界的使用壽命，降低生產機台的停機時間和持有成本。  Entegris AMC過濾服務部資深產品行銷經理Joe Wildgoose表示：「現今的黃光制程良率問題可望減輕；解決問題要從處理一個必須處理的污染物類別開始，也就是  弱酸。VaporSorb TRK不僅是能處理三種常見主要問題的單一解決方案，還能處理最新關於弱酸性空氣污染物的問題。」  VaporSorb化學濾網以獨特的混合材料捕捉空氣分子污染物袋型濾網。藉由添除臭抗菌濾網加新的吸附劑來加強該混合材質，以產生新型四合一化學濾網。實測上，終端使用者已證明該化學  濾網能夠捕捉所有會污染晶圓和設備的有機物、堿、強酸和弱酸。     博主好站推薦：[marquee scrollamount="1" width="350" height="15]
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