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化學濾網適於高階半導體制程 周二 1月 12, 2016 8:51 pm
tutuqwe
Entegris Inc。[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]無塵室設備[/url]宣布推出空氣分子污染(AMC)化[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]化學濾網[/url]學濾網 VaporSorb 系列的擴充產品。Entegris為首創的 VaporSorb TRK 化學濾網新增在黃光制程中脫除弱酸，以涵蓋四種主要空氣分子污染類型，適用於半導體制造關鍵步驟的無塵室環境和制程生產機台。
VaporSorb 化學濾網的設計已能以單一過濾器捕捉空氣有機物、鹼和強酸。新型 VaporSorb TRK 已添加特殊材質，使其成為第一個不僅能捕捉前三種核心污染物類別，還能捕捉第四類別的化學濾網，也就是定義為弱酸的類別。
針對光微影塗布/曝光機追蹤設計新型化學濾網，首創「四合一」化學濾網解決方案設立在過去的「三合一」技術上，避免了多重化學濾網的處理。此外，本化學濾網能保持 VaporSorb 的使用壽命，降低生產機台的停機時間和持有成本。
Entegris AMC過濾服務部[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]空調規劃設計[/url]資深產品行銷經理 Joe Wildgoose 表示：「目前的黃光制程良率問題可望減輕；解決問題要從處理一個必須處理的污染物類別開始，也就是弱酸。 VaporSorb TRK 不僅是能處理三種常見主要問題的單一解決方案，還能處理最新關於弱酸性空氣污染物的問題。」
弱酸的例子包括醋酸和甲酸(醋酸鹽； CH3COO- 和甲酸鹽； HCOO- )，以及亞硝酸(亞硝酸鹽； NO2-)。這些污染物會在黃光制程中產生污染和產量的問題，因為不僅傳統 AMC 化學濾網無法除去這些污染物，而且使用傳統設計過濾器時還可能產生有機污染。
[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]不織布濾網[/url] VaporSorb 化學濾網以獨特的混合材料捕捉空氣分子污染物。藉由添加新的吸附劑來加強該混合材質，以產生新型四合一化學濾網。實測上，終端使用者測試[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]袋型濾網[/url]已[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]除臭抗菌濾網[/url]證明該化學濾網能夠捕捉所有會污染晶圓和設備的有機物、鹼、強酸和弱酸。
氬焊機,slide bearing,Plastic bearing,powder metal,sintered metal]
VaporSorb 化學濾網的設計已能以單一過濾器捕捉空氣有機物、鹼和強酸。新型 VaporSorb TRK 已添加特殊材質，使其成為第一個不僅能捕捉前三種核心污染物類別，還能捕捉第四類別的化學濾網，也就是定義為弱酸的類別。
針對光微影塗布/曝光機追蹤設計新型化學濾網，首創「四合一」化學濾網解決方案設立在過去的「三合一」技術上，避免了多重化學濾網的處理。此外，本化學濾網能保持 VaporSorb 的使用壽命，降低生產機台的停機時間和持有成本。
Entegris AMC過濾服務部[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]空調規劃設計[/url]資深產品行銷經理 Joe Wildgoose 表示：「目前的黃光制程良率問題可望減輕；解決問題要從處理一個必須處理的污染物類別開始，也就是弱酸。 VaporSorb TRK 不僅是能處理三種常見主要問題的單一解決方案，還能處理最新關於弱酸性空氣污染物的問題。」
弱酸的例子包括醋酸和甲酸(醋酸鹽； CH3COO- 和甲酸鹽； HCOO- )，以及亞硝酸(亞硝酸鹽； NO2-)。這些污染物會在黃光制程中產生污染和產量的問題，因為不僅傳統 AMC 化學濾網無法除去這些污染物，而且使用傳統設計過濾器時還可能產生有機污染。
[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]不織布濾網[/url] VaporSorb 化學濾網以獨特的混合材料捕捉空氣分子污染物。藉由添加新的吸附劑來加強該混合材質，以產生新型四合一化學濾網。實測上，終端使用者測試[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]袋型濾網[/url]已[url=[您必需注冊并登錄才能查看本鏈接。]]除臭抗菌濾網[/url]證明該化學濾網能夠捕捉所有會污染晶圓和設備的有機物、鹼、強酸和弱酸。
氬焊機,slide bearing,Plastic bearing,powder metal,sintered metal]
